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來賓水噴射真空羅茨真空泵-誠澤機(jī)械廠家直銷 ：

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真空腔室的模塊化設(shè)計(jì)和加工

該設(shè)備屬生產(chǎn)設(shè)備，主要功能包括：鈦/鋯磁控濺 射鍍裝飾膜，反應(yīng)膜、復(fù)合膜。其它功能還包括：行星旋轉(zhuǎn)基片臺、負(fù)偏壓輔助沉積、PLC+HMI真空自動/手動控 制、水冷循環(huán)及斷水保護(hù)系統(tǒng)，預(yù)留多個標(biāo)準(zhǔn)接口。真空腔室的模塊化設(shè)計(jì)和加工。通過此項(xiàng)技術(shù)提高了腔室設(shè)計(jì)和加工效率，水噴射真空羅茨真空泵哪里有賣，提高了重大部件的加工質(zhì)量和互換性，縮短了整條線的交貨周期。使用高性能旋轉(zhuǎn)陰極和中頻電源，大蒸發(fā)電流達(dá)到400A，大大提高生產(chǎn)效率及膜層性能；通過輔助5段供氣，提高真空環(huán)境工藝氣體分布均勻性，提高膜層質(zhì)量；安裝整體式模塊化陰極屏蔽擋板，大大減少維修時(shí)間，降低維修成本。陰極采用隔離冷卻裝置，改變以往陰極磁鋼因工作在循環(huán)水中不斷吸附雜質(zhì)而影響磁場強(qiáng)度和壽命。新方法使磁鋼工作在真空環(huán)境，大大提高了陰極穩(wěn)定性和壽命。采用自主研發(fā)的傾斜式磁鋼矩陣排列，擴(kuò)大了陰極靶材表面氣隙場范圍，增大了靶材被刻蝕濺射的面積，提高靶材的利用率和均勻性。表面氣隙場水平分量均勻性在±2%以內(nèi)。使用自主研發(fā)的三維空間磁場測量分析系統(tǒng)，系統(tǒng)用于測量磁鋼陣列的空間氣隙場分布及磁鋼安裝、調(diào)整，為陰極研發(fā)提供有效的技術(shù)手段。觸摸屏+PLC，可以實(shí)現(xiàn)電腦全自動控制，自動/手動隨時(shí)切換。同時(shí)配備先進(jìn)的圓柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發(fā)裝置，將磁控濺射技術(shù)和加熱蒸發(fā)技術(shù)的有效結(jié)合，使設(shè)備的適用范圍更廣，可得到多種不同性能的膜層；獨(dú)特的雙門（室）結(jié)構(gòu)，使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同時(shí)進(jìn)行，大大提高工作效率。

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 噴嘴 　　

噴嘴是影響真空泵性能的重要部件，存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏，不管采取何種預(yù)防措施，噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時(shí)，管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴;另一方面，真空泵系統(tǒng)停用時(shí)，蒸汽管道易生銹，銹斑在使用時(shí)掉落堵塞噴嘴。 　　

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保養(yǎng)方法
（一）、羅茨真空泵定期檢查：
1、每日檢查：
1）油位檢查：油量過多，使溫度升高，油量過少，造成潤滑不良。
2）溫度檢查：用溫度計(jì)檢查泵各部位溫度。
3）電動機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測量電動機(jī)負(fù)荷。
2、羅茨真空泵每月檢查：
聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動。
3、羅茨真空泵每3個月檢查：
齒輪箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。
4、羅茨真空泵每6個月檢查：
1）前蓋軸承箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。
2）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。
3）齒輪微量程度的磨損對轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。
（二）、羅茨真空泵拆裝：
增壓泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時(shí)，須根據(jù)以xia注意事項(xiàng)進(jìn)行：
1、羅茨真空泵未拆卸前，先測量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。
2、盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。
3、將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來。
4、羅茨真空泵重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。
5、無密封墊襯或密封圈的靜密封面用“106”有機(jī)硅橡膠涂料。用干凈密封的橡膠密封件，需涂上真空考克脂。帶溢流閥真空泵溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。
6、根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。
7、全部裝好后須進(jìn)行檢漏。
8、重裝后須進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)和必要的性能測試，待正常后才能安裝使用。